Fotric 226红外热像仪应用于TCO薄膜通电测试

　　一、背景概述

　　TCO 薄膜是一类特殊材料和工艺的镀膜，它主要应用于平板显示器和建筑两大领域。与其他类型的导电薄膜相比，氧化物透明导电膜不仅导电性好，而且还像玻璃一样具有高的透明性，所以，可以把它看作一种用途十分广泛的特征功能薄膜。这种氧化物透明导电薄膜用途十分广泛，它的主要用途有：

　　1. 显示器件中的电极材料。

　　2. 防静电，防电磁屏蔽层。为了防止静电，必须使方阻小于 109Ω。

　　3. 面发热体。SnO2 薄膜的电热转换效率在 90%以上，通电后立即产生热效应。

　　4. 热反射膜。SnO2 和 ITO 薄膜在红外部分的反射率可达到 80%以上。

　　5. 太阳能电池。(1) SIS 异质结太阳能电池;(2) 太阳能电池的减反射膜。

　　6. 薄膜电阻器。

　　7. 气敏传感器。现已能探测甲烷，CO、CO2、H2、H2S、乙醇等多种气体和烟尘。

　　8. 终端设备。用透明导电薄膜制作薄膜开关。

　　9. 汽车玻璃。

　　用 Fotric 226-2 套装进行测试(配备 50μm 微距镜头)

　　TCO薄膜的主要技术指标有光谱透过率、导电性能、雾度以及激光刻蚀性能。其中，在薄膜电池的制作过程中，需要将表面划分成多个长条状的电池组，这些电池组被串联起来用以提高输出能效。因此，TCO 玻璃在镀半导体膜之前，必须要对表面的导电膜进行刻划，被刻蚀掉的部分必须完全除去氧化物导电膜层，以保持绝缘。刻蚀方法目前有化学刻蚀和激光刻蚀两种，但由于刻蚀的线条要求很细，一般为几十微米的宽度，而激光刻蚀具有沟槽均匀，剔除干净，生产效率快的特点。

　　二、客户需要解决什么问题

　　研发人员需要验证这类薄膜的印刷质量和刻蚀工艺

是否存在断裂，粘连等问题其中白框内两线间距离为50微米　　

　　三、当前有哪些解决方案及其弊端

　　对 TCO 薄膜通电，测试刻蚀质量。采用测试温度的方式测量，如果出现粘连或断裂会出现不同的温度变化。

　　热电偶与数采使用热电偶测温准确，但是由于电池组较细，而且间距只有 50 微米宽，没有办法很好的粘贴；

　　热线偶可能会导致通电时电路；

　　只能测量点或几个点的温度，没有办法找到整个薄膜上刻蚀的线断裂部位或短路部位；

　　破坏了器件本身的热场分布，尤其是小尺寸元器件;

　　热电偶有温度惯性，采集的温度和实际温度有滞后;

　　红外测温枪

　　红外测温枪使用方便，但问题也很多：

　　没有办法精确找到测量的部位，不能同时测试多个点;

　　不能直观看到问题点;

　　被测部位很小，温度会被平均;

　　四、Fotric 产品如何帮助客户解决该问题及优势

　　对 TCO 薄膜通电，然后采用 Fotric 226 搭配 50 微米微距镜观看温度变化，如果出现粘连可以看到高温点，如果出现断裂会有线路温度较低。

　　Fotric 226 三合一热像仪单张热像图即采集 110592 个温度值，可以直观看到问题点，高效率无盲区的查找问题。

　　Fotric 226 热像仪可连接电脑，配合 AnalyzIR 专业软件变身为在线热像仪，而且搭配 Fotric B1 实验台测温更稳定。

　　五、配置方案

　　Fotric 226 三合一热像仪，配 M50-226 微距镜和 B1 研发测试台。

　　六、哪些客户需要解决该问题

　　薄膜印刷厂

　　电路印刷等